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專利資訊
處理元件用之障壁層及其形成方法
東京威力科創股份有限公司
申請案號
093107839
公告號
200425318
申請日期
2004-03-23
申請人
東京威力科創股份有限公司
發明人
蓋瑞 艾斯徹
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/304
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