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專利資訊
用於晶圓傳輸之快速交換站
整合動力技術股份有限公司
申請案號
093108366
公告號
200509287
申請日期
2004-03-26
申請人
整合動力技術股份有限公司
發明人
海蘭德 彼得
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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