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專利資訊
虛設晶圓
新日本石油股份有限公司
申請案號
093108555
公告號
200511473
申請日期
2004-03-29
申請人
新日本石油股份有限公司
發明人
內田大介
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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