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IPC C23C16/52
IPC C23C16/52 專利列表
共 3 筆結果
沉積具控制厚度之低K材料層的方法
應用材料股份有限公司
案號 093103242
2004-02-11
IPC C23C16/52
可無線接收製程參數之薄膜沉積裝置
愛斯特隆公司
案號 092103638
2003-02-21
IPC C23C16/52
化學氣相沈積裝置
周星工程股份有限公司
案號 091136411
2002-12-17
IPC C23C16/52
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