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IPC H01J37/15 專利列表

共 1 筆結果

使用線性掃瞄馬達之離子束植入器之可調整植入角度的工件支撐結構及使用離子植入器將離子植入工件的方法

艾克塞利斯科技公司

案號 0931042252004-02-20IPC H01J37/15

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