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IPC H01J37/305
IPC H01J37/305 專利列表
共 1 筆結果
在表面上利用聚焦電子束誘發之化學反應蝕刻在此表面上之物質的方法
納佛泰克有限公司
案號 092120662
2003-07-29
IPC H01J37/305
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