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IPC H01J37/32 專利列表

共 3 筆結果

用於監視電漿摻雜系統中之電漿參數之方法及裝置

維瑞安半導體設備公司

案號 0921203802003-07-25IPC H01J37/32

大氣壓力電漿組件

道康寧愛爾蘭公司

案號 0921076342003-04-03IPC H01J37/32

處理半導體基板之電極組件，製造該電極組件之方法，及具有該電極組件之處理裝置

三星電子股份有限公司

案號 0911355242002-12-09IPC H01J37/32

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