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用於電漿摻雜系統之均勻性控制
維瑞安半導體設備公司
申請案號
091132051
公告號
200300952
申請日期
2002-10-29
申請人
維瑞安半導體設備公司
發明人
史地芬R 沃塞
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01J37/317
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