IPC H01J37/317 專利列表
共 6 筆結果
離子射束偏向加速／減速／歛聚之結構和方法
艾克塞利斯科技公司
案號 0931042232004-02-20IPC H01J37/317
不純物導入方法
松下電器產業股份有限公司
案號 0931033282004-02-12IPC H01J37/317
用於離子束植入機之可調整植入角度的工件支持結構
艾克塞利斯科技公司
案號 0921206302003-07-29IPC H01J37/317
離子照射裝置
松下電器產業股份有限公司
案號 0911377102002-12-27IPC H01J37/317
抑制基板充電用之離子束照射裝置及方法
日新意旺機器股份有限公司
案號 0911351842002-12-04IPC H01J37/317
用於電漿摻雜系統之均勻性控制
維瑞安半導體設備公司
案號 0911320512002-10-29IPC H01J37/317