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專利資訊
蝕刻高縱橫比特徵的方法
艾倫 摩森
申請案號
091132254
公告號
200300276
申請日期
2002-10-31
申請人
艾倫 摩森
發明人
艾倫 摩森
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/3065
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