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專利資訊
顯影裝置
東京應化工業股份有限公司
申請案號
091132314
公告號
200300959
申請日期
2002-10-31
申請人
東京應化工業股份有限公司
發明人
島井太
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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