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專利資訊
基板顯影裝置
友達光電股份有限公司
申請案號
091132819
公告號
200407955
申請日期
2002-11-07
申請人
友達光電股份有限公司
發明人
周振南
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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