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專利資訊
規律性圖案之曝光方法
台灣積體電路製造股份有限公司
申請案號
091132948
公告號
200407956
申請日期
2002-11-08
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
嚴濤南
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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