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專利資訊
半導體裝置中形成銅配線之方法
海力士半導體股份有限公司
申請案號
091133040
公告號
200407957
申請日期
2002-11-11
申請人
海力士半導體股份有限公司
發明人
柳春根
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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