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專利資訊
晶圓拋光設備
東京精密股份有限公司
申請案號
091133284
公告號
200300375
申請日期
2002-11-13
申請人
東京精密股份有限公司
發明人
沼本實
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
B24B37/04
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