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專利資訊
具不同透明圖案之多重微影曝光
台灣茂矽電子股份有限公司
申請案號
091133291
公告號
200300961
申請日期
2002-11-13
申請人
台灣茂矽電子股份有限公司
發明人
約翰高斯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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