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蝕刻方法及電漿蝕刻裝置

日商東京威力科創股份有限公司

申請案號
091133415
公告號
200300578
申請日期
2002-11-14
申請人
日商東京威力科創股份有限公司
發明人
本田昌伸
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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