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專利資訊
蝕刻方法及裝置
國立大學法人東北大學
申請案號
091133466
公告號
200300579
申請日期
2002-11-15
申請人
國立大學法人東北大學
發明人
寒川誠二
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/3065
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