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使用聚合複合劑進行銅之化學機械拋光之方法

美商ＣＭＣ材料股份有限公司

申請案號
091133829
公告號
200300787
申請日期
2002-11-20
申請人
美商ＣＭＣ材料股份有限公司
發明人
大衛Ｊ　雪瑞德
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

C09G1/02
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使用聚合複合劑進行銅之化學機械拋光之方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通