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專利資訊
低K值介電層之形成
佳康控股有限公司
申請案號
091133869
公告號
200400589
申請日期
2002-11-20
申請人
佳康控股有限公司
發明人
約翰 馬希尼爾
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/762
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