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於半導體自動化晶圓測試中確保探針卡對晶圓平行之一致性裝置與方法,探針卡量測系統,及探針卡之製造
愛德萬測試股份有限公司
申請案號
091133971
公告號
200305913
申請日期
2002-11-21
申請人
愛德萬測試股份有限公司
發明人
奈瑟A 賈法里
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/00
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