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專利資訊
銅導線置換沉積之除氧方法
逢甲大學
申請案號
091134027
公告號
200408722
申請日期
2002-11-22
申請人
逢甲大學
發明人
劉堂傑
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23C16/06
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