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用於製造高度積體電路裝置之光罩,產生該光罩之佈局之方法,該光罩之製造方法,以及使用該光罩用於高度積體電路裝置之製造方法
三星電子股份有限公司
申請案號
091134082
公告號
200403521
申請日期
2002-11-22
申請人
三星電子股份有限公司
發明人
朴哲弘
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F1/14
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