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專利資訊
以氧氣補充之操作製程
應用材料股份有限公司
申請案號
091134129
公告號
200301513
申請日期
2002-11-22
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
凱文M 慕凱
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/205
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