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專利資訊
改善非晶矽薄膜基板之製程方法
財團法人工業技術研究院
申請案號
091134149
公告號
200409204
申請日期
2002-11-25
申請人
財團法人工業技術研究院
發明人
林宏彝
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/205
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