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專利資訊
製程處理室組件上之製程殘餘物的清洗方法
應用材料股份有限公司
申請案號
091134234
公告號
200302504
申請日期
2002-11-25
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
歐勒克勞
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/00
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