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專利資訊
顯影裝置以及顯影方法
東京應化工業股份有限公司
申請案號
091134340
公告號
200301407
申請日期
2002-11-26
申請人
東京應化工業股份有限公司
發明人
中村彰彥
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/30
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