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IPC G03F7/30
IPC G03F7/30 專利列表
共 5 筆結果
用於光阻劑之清潔溶液及使用該溶液形成圖案之方法
美商覓蜜IP有限責任公司
案號 092134395
2003-12-05
IPC G03F7/30
減少氣體產生量之保護裝置
三井化學股份有限公司
案號 092131448
2003-11-11
IPC G03F7/30
用以顯影液晶顯示器之裝置與方法
顯像製造服務股份有限公司
案號 092104617
2003-03-05
IPC G03F7/30
顯影裝置以及顯影方法
東京應化工業股份有限公司
案號 091134340
2002-11-26
IPC G03F7/30
基板處理系統
東京應化工業股份有限公司
案號 091132308
2002-10-31
IPC G03F7/30
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