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一種低反射之相位及穿透率可調之光罩結構

財團法人國家實驗研究院

申請案號
091134396
公告號
200408906
申請日期
2002-11-26
申請人
財團法人國家實驗研究院
發明人
陳學禮
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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