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專利資訊
透明基板之改良微影製程
亞那克斯貝樂斯有限公司
申請案號
091134610
公告號
200300962
申請日期
2002-11-28
申請人
亞那克斯貝樂斯有限公司
發明人
菲利普 傑寇特
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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