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專利資訊
利用四氟化碳電漿預處理改善高介電材料特性之製程
國立交通大學
申請案號
091134760
公告號
200409206
申請日期
2002-11-28
申請人
國立交通大學
發明人
雷添福
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/205
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