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專利資訊
化學放大型正光阻組成物
住友化學工業股份有限公司
申請案號
091134911
公告號
200300865
申請日期
2002-12-02
申請人
住友化學工業股份有限公司
發明人
中西潤次
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/039
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