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專利資訊
估測氧化層形成厚度與管線測漏之方法
台灣茂矽電子股份有限公司
申請案號
091135066
公告號
200410338
申請日期
2002-12-03
申請人
台灣茂矽電子股份有限公司
發明人
劉永男
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/31
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