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電漿反應器的氣體散流板電極

應用材料股份有限公司

申請案號
091135109
公告號
200306624
申請日期
2002-12-03
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
丹卡茲
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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電漿反應器的氣體散流板電極 - 專利資訊 | NowTo 智財通