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專利資訊
半導體刻紋方法
澳洲國立大學
申請案號
091135225
公告號
200409222
申請日期
2002-11-29
申請人
澳洲國立大學
發明人
克勞斯 韋伯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/302
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