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專利資訊
隔離多孔性低介電常數介電薄膜之結構及方法
艾基爾系統公司
申請案號
091135432
公告號
200305221
申請日期
2002-12-06
申請人
艾基爾系統公司
發明人
吉拉德 吉布森
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/316
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