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於超乾淨之空氣中用於蝕刻、清洗及乾燥基板的裝置

法可微科技公司

申請案號
091135528
公告號
200303578
申請日期
2002-12-09
申請人
法可微科技公司
發明人
歐勒威爾　瑞庫爾特
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/302
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