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在１８０相區域周圍形鉻界線以增強透明電場相移位光罩之方法

高級微裝置公司

申請案號
091135779
公告號
200300862
申請日期
2002-12-11
申請人
高級微裝置公司
發明人
陶德　Ｐ　路卡恩
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

G03F1/14
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在１８０相區域周圍形鉻界線以增強透明電場相移位光罩之方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通