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在１９３奈米微影技術中減少光阻劑氧化而退化之方法與系統

高級微裝置公司

申請案號
091135780
公告號
200301508
申請日期
2002-12-11
申請人
高級微裝置公司
發明人
烏洛丁瑪　歐可羅尼恩吾
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/027
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