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專利資訊
以二元合金多層沈積改善金屬化結構之電遷移特性之方法
高級微裝置公司
申請案號
091136064
公告號
200301524
申請日期
2002-12-13
申請人
高級微裝置公司
發明人
王斐
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/3205
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