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利用光夾子移除積體電路表面微粒之方法

台灣積體電路製造股份有限公司

申請案號
091136199
公告號
200410293
申請日期
2002-12-13
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
陳虹妙
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/00
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利用光夾子移除積體電路表面微粒之方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通