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專利資訊
微影模版和其形成及使用方法
美商恩智浦美國公司
申請案號
091136257
公告號
200402760
申請日期
2002-12-16
申請人
美商恩智浦美國公司
發明人
大衛P 曼希尼
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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