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用以在化學機械研磨中控制晶圓溫度的設備及方法
蘭姆研究公司
申請案號
091136602
公告號
200301176
申請日期
2002-12-18
申請人
蘭姆研究公司
發明人
尼可拉斯 布萊特
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
B24B37/04
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