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專利資訊
有機的抗反射塗佈組成物以及使用該組成物形成光阻圖案的方法
海力士半導體有限公司
申請案號
091136685
公告號
200401817
申請日期
2002-12-19
申請人
海力士半導體有限公司
發明人
鄭 昌
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C09D183/04
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