IP

有機的抗反射塗佈組成物以及使用該組成物形成光阻圖案的方法

海力士半導體有限公司

申請案號
091136685
公告號
200401817
申請日期
2002-12-19
申請人
海力士半導體有限公司
發明人
鄭 昌
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

本站使用 Cookie 進行流量分析,以提供更好的使用體驗。

有機的抗反射塗佈組成物以及使用該組成物形成光阻圖案的方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通