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專利資訊
具有低K值電介質特性之互連線結構的製造方法
蘭姆研究公司
申請案號
091136753
公告號
200301544
申請日期
2002-12-19
申請人
蘭姆研究公司
發明人
葉海 高金斯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/768
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