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專利資訊
氣體清除方法及曝光裝置、以及元件製造方法
尼康股份有限公司
申請案號
091136791
公告號
200307979
申請日期
2002-12-20
申請人
尼康股份有限公司
發明人
白石 直正
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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