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膠囊化研磨組合物及使用該組合物之拋光墊

海力士半導體股份有限公司

申請案號
091137295
公告號
200411035
申請日期
2002-12-25
申請人
海力士半導體股份有限公司
發明人
崔容壽
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

C09K3/14
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膠囊化研磨組合物及使用該組合物之拋光墊 - 專利資訊 | NowTo 智財通