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專利資訊
光罩,其製作方法及使用該光罩之圖案形成方法
HOYA股份有限公司
申請案號
091137473
公告號
200303448
申請日期
2002-12-26
申請人
HOYA股份有限公司
發明人
三坂章夫
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F1/08
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