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蝕刻方法及電漿蝕刻處理裝置

日商東京威力科創股份有限公司

申請案號
091137503
公告號
200301522
申請日期
2002-12-26
申請人
日商東京威力科創股份有限公司
發明人
下西聰
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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蝕刻方法及電漿蝕刻處理裝置 - 專利資訊 | NowTo 智財通