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專利資訊
蝕刻方法及電漿蝕刻處理裝置
日商東京威力科創股份有限公司
申請案號
091137503
公告號
200301522
申請日期
2002-12-26
申請人
日商東京威力科創股份有限公司
發明人
下西聰
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/3065
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