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光酸產生劑化合物,化學增幅正型光阻材料及圖案形成方法

信越化學工業股份有限公司

申請案號
091137530
公告號
200301845
申請日期
2002-12-26
申請人
信越化學工業股份有限公司
發明人
畠山潤
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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